P R O D U C T S
532nm小体积
基于单频种子激光器、光纤激光放大以及高效率的频率转换技术，频准激光可以提供窄线宽的532nm激光器，最大输出为8W，同时具有高频率稳定度，长寿命以及优异的光束质量。
特点
- 高频率稳定度
- 高功率稳定度
- 优异的光束质量
- 永不跳模
应用
- 精密测量
- 晶圆量测
- 干涉曝光
主要参数
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参数 |
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型号 |
FL-SF-532-X-CW |
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中心波长 |
532nm |
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线宽(100 us 积分时间) |
<10kHz |
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工作模式 |
连续激光输出 |
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输出功率 |
>8W |
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光斑直径 |
2.3±0.15mm |
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光斑束腰位置（相对输出窗口） |
输出窗口±1m内 |
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发散角 (全角) |
<0.35mrad |
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椭圆度 |
>90% |
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指向稳定性 (峰峰值) |
<15μrad@3h |
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光束质量 |
TEM00，M²<1.1 |
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偏振 |
>22dB |
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功率稳定性 |
<2% @168hours, P-P |
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相对强度噪声 |
<0.06%(RMS, 10Hz-10MHz 积分) |
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冷却方式 |
风冷 |
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预热时间 |
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冷启动 |
<30 分钟 |
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热启动 |
<15 分钟 |
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尺寸和重量 |
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激光控制器尺寸 |
≤235mm x 350mm x 185mm |
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激光头尺寸 |
≤150mm x 305mm x 109mm |
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激光头重量 |
≤6kg |
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激光控制器重量 |
≤15kg |
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激光头和控制器之间的线缆长度 |
不可拆卸光纤长度>1.5m |
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使用环境和供电功耗 |
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工作温度（无凝露条件下） |
15-30 ℃（风冷） |
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供电 |
100V-240V, AC, 50/60Hz |
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功耗 |
<180W |
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通信 |
RS422 |
更高功率，更多波长，可定制方案
